■ 栅极电压V_GS：0 - ±40V

■ 漏极电压V_DS：0 - ±3000V

■ 四寄生参数(Ciss、Coss、Crss、Rg或Cies、Coes、Cres、Rg)同屏一键测量及显示

■ 一体化设计：LCR+V_GS低压源+V_DS高压源+通道切换+上位机软件

■ 单管器件（点测）、模组器件（列表扫描）、曲线扫描(选件)三种测试方式

■ 标配2通道，可扩展至6通道，可测单管、多芯或模组器件（TH513仅1通道）

■ CV曲线扫描、Ciss-Rg曲线扫描

■ 电容快速充电技术，实现快速测试

■ 接触检查Cont

■ 通断测试OP_SH

■ 自动延时设置

■ Crss Plus功能：解决高频下Crss负值问题

■ 高压击穿保护：DS瞬间短路，保护仪器

■ Interlock安全锁功能：增加高压防护墙（仅TH513）

■ Cs-V功能：二极管结电容CV特性测试分析

■ 等效模式转换功能，可选Cs或Cp模式

■ 10档分选

■ 栅极电压V_GS：0 - ±40V

■ 漏极电压V_DS：0 - ±3000V

■ 四寄生参数(Ciss、Coss、Crss、Rg或Cies、Coes、Cres、Rg)同屏一键测量及显示

■ 一体化设计：LCR+V_GS低压源+V_DS高压源+通道切换+上位机软件

■ 单管器件（点测）、模组器件（列表扫描）、曲线扫描(选件)三种测试方式

■ 标配2通道，可扩展至6通道，可测单管、多芯或模组器件（TH513仅1通道）

■ CV曲线扫描、Ciss-Rg曲线扫描

■ 电容快速充电技术，实现快速测试

■ 接触检查Cont

■ 通断测试OP_SH

■ 自动延时设置

■ Crss Plus功能：解决高频下Crss负值问题

■ 高压击穿保护：DS瞬间短路，保护仪器

■ Interlock安全锁功能：增加高压防护墙（仅TH513）

■ Cs-V功能：二极管结电容CV特性测试分析

■ 等效模式转换功能，可选Cs或Cp模式

■ 10档分选

■ 栅极电压V_GS：0 - ±40V

■ 漏极电压V_DS：0 - ±3000V

■ 四寄生参数(Ciss、Coss、Crss、Rg或Cies、Coes、Cres、Rg)同屏一键测量及显示

■ 一体化设计：LCR+V_GS低压源+V_DS高压源+通道切换+上位机软件

■ 单管器件（点测）、模组器件（列表扫描）、曲线扫描(选件)三种测试方式

■ 标配2通道，可扩展至6通道，可测单管、多芯或模组器件（TH513仅1通道）

■ CV曲线扫描、Ciss-Rg曲线扫描

■ 电容快速充电技术，实现快速测试

■ 接触检查Cont

■ 通断测试OP_SH

■ 自动延时设置

■ Crss Plus功能：解决高频下Crss负值问题

■ 高压击穿保护：DS瞬间短路，保护仪器

■ Interlock安全锁功能：增加高压防护墙（仅TH513）

■ Cs-V功能：二极管结电容CV特性测试分析

■ 等效模式转换功能，可选Cs或Cp模式

■ 10档分选

■ 提供固定静态偏置点进行窄脉冲动态IV测量，满足准等温测试条件

■ 实现器件寄生效应的量化测量与数据运算

■ 脉宽最小低至200ns

■ 具有内部和外部同步能力

■ 脉冲时序设置和时域波形记录

■ 仪器设备可与socket&半自动探针台互联，进行封装以及晶圆级芯片测试

■ 提供固定静态偏置点进行窄脉冲动态IV测量，满足准等温测试条件

■ 实现器件寄生效应的量化测量与数据运算

■ 脉宽最小低至200ns

■ 具有内部和外部同步能力

■ 脉冲时序设置和时域波形记录

■ 仪器设备可与socket&半自动探针台互联，进行封装以及晶圆级芯片测试

■ 提供固定静态偏置点进行窄脉冲动态IV测量，满足准等温测试条件

■ 实现器件寄生效应的量化测量与数据运算

■ 脉宽最小低至200ns

■ 具有内部和外部同步能力

■ 脉冲时序设置和时域波形记录

■ 仪器设备可与socket&半自动探针台互联，进行封装以及晶圆级芯片测试