- 简介
TH2690系列飞安表/皮安表/静电计/高阻计提供了行业领先的测量功能。飞安表/静电计具有0.01fA(10-17A)最小电流分辨率，可满足大部分场景的微弱电流测量需求。高阻计内置的1000V电压源支持测量高达1000PΩ(1018Ω)的电阻。
针对不同的测试对象和测试环境，同惠还提供各种适配的附件。
与传统的皮安表和高阻计不同，TH2690系列采用5吋彩色LCD电容触摸屏，使操作更直观便捷。 TH2690系列还提供多种视图模式以便用户观察数据。除数字格式外，测量数据还可以转换为直方图及趋势图的形式，使用户能即时查看测量数据的分布规律或变化趋势。
TH2690系列提供六种型号，用户可以根据实际测试需求灵活地选购适当的仪器。
快速选型
TH2690
TH2690A
TH2690H
TH2691
TH2691A
TH2691H
测量分辨
6½位
电流分辨率
0.1fA
0.01pA
0.01fA
0.1fA
0.01pA
0.01fA
最大电阻
100PΩ
1PΩ
1000PΩ
-
-
-
电荷测量
1fC-2μC
-
1fC-2μC
-
-
-
温湿度测量
√
-
√
-
-
-
电压源
±1000V
-
-
-
电压分辨率
1μV
-
-
-
- 应用
材料特征测试
半导体、纳米材料、聚合物材料、介质材料、电化学材料、铁电材料、石墨烯、陶瓷、生物材料、橡胶、薄膜、金属、有机材料等
电子元器件泄漏电流和绝缘电阻测试
电容器、电阻器、二极管、晶体管、传感器、TFT和CNT等类型、光电器件、纳米器件、太阳能电池、开关、继电器等
电子/非电子系统
离子束、电子束、传感系统、粒子测量、嵌入式精密仪器等
半导体和其它器件I-V特性测量
体电阻/表面电阻率测量
- 技术参数
功能特点
1.0.01fA的电流测量分辨率
在研究材料特性或判定器件性能时，经常需要测量fA/PΩ等极限电流、电阻，而传统的数字万用表（DMM）无法达到，TH2690系列飞安表/静电计提供了行业领先的0.01fA电流测量分辨率及1000PΩ电阻测量，完美实现了材料测量，可满足现在及将来的测量需求。
2.10,000读数/秒的数据读取速率
测量速度一般由积分设置中的积分周期决定，积分周期通常为工频周期(PLC)的整数倍。在能够提供充足的平均次数来避免工频噪声对测量的影响的前提下，积分周期显然越短越好。
由于传统仪器的读取速率相对缓慢，无法捕获到快速瞬态信号。TH2690系列数据读取速率可达10,000读数/秒，可捕获到更精细的被测器件响应。
3.统计图显示
TH2690系列可以将测试结果在主界面以图形方式实时地显示，展示被测件（DUT）的动态特性。图形分曲线图和直方图两种。
下图为设置界面
1） 曲线图(时基视图)显示
TH2690可以便捷地绘制多种曲线图，包括I-t、V-t、R-t、Q-t和I-R等(特定的图形显示功能取决于所使用的产品型号)。进行敏感测量时，这种强大且全面的图形显示能力可使您更容易地获取有价值的数据。
2） 直方图显示
任何测量环境中都会存在一定的噪声波动，因此低电平测量数据都会带有一定的统计不确定性。传统的处理方法是在测量结束后绘制直方图对测量数据进行评估(通常在电脑上)。然而，如果您需要执行多次测量和测试设置调试周期，这个过程将会变得冗长。
TH2690系列具有实时的、自动标尺的直方图显示功能，使您能及时调试测量设置而无需在测量后再进行数据处理。直方图显示于测量数据之下，方便您对比直方图上的累积数据与实时测量数据。
4.扫描输出
TH2690可以设定输出单阶梯波、双阶梯波、方波以及自定义列表输出。点击设定-源设定选项卡进行设定。设定界面分别如下：
5.分选功能
TH2690可以对测试结果进行判定分选。有分级（Grading）和分类（Sorting）两种模式可选，最多可设置7个判定条件。设定界面如右图：
其中分级（Grading）模式是指执行极限判定直到遇到失败跳出，输出当前失败位，否则继续下一个极限判定，若全部合格，则输出最后一个合格位。
分类（Sorting）模式是指执行极限判定直到遇到合格跳出，输出当前合格位，否则继续下一个极限判定，若全部失败，则输出最后一个失败位。
6.HANDLER接口定义
1,2,3为信号输入脚，对应上图IN1，IN2，IN3。可以改变信号定义。
4,5,6,7为信号输出脚，对应上图OUT4，OUT5，OUT6，OUT7。可以改变信号输出模式。
7.错误信息
当仪器出现操作失误或仪器自检出错等问题时，在仪器下方信息栏会报错，点击工具-错误信息图标，在此处可查看报警信息，可根据提示进行消除错误。
8.专用温湿度探头提供更可靠的温湿度数据
温度和湿度是高值电阻测量中的关键参数。TH2690、TH2690H高阻计提供温湿度传感器接口，并配置了专用的温湿度探头。数字温湿度探头可用于测定温度和湿度，提供比热电偶更精确的温度数据。
9.多种附件应对不同的测试环境和被测件
TH2690配备了多种可选附件，以适配不同的被测件，进一步提升其测试效果。主要包括电阻率测试盒和元件测试夹具。
电阻率测试盒配备多种尺寸的电极，可以用于测量不同规格材料的面电阻率和体电阻率。
元件测试夹具配备多种测试模块，以应对贴片器件、轴向引线器件等多种封装的测量
10. 电阻率测量（选件）
TH2690系列可选配TH26090选件，进行电阻率测量。
a) 方案配置：
序号
型号
名称
必选项
备注
1
TH2690
飞安表/静电计/高阻计主机
R
2
TH26090
电阻率测试盒
R
选件
3
备注
TH2690固件升级至最新
b) TH26090电阻率测试盒
功能
说明
测试电压
0-±1000V
测试电极
Φ26mm、Φ38mm、Φ50mm（标配），共3种可选
测试电流
0-10mA
接触压力
≤10kg
测量参数
表面电阻Rs、表面电阻率ρs、体电阻Rv、体电阻率ρv
c) 体积电阻Rv、体积电阻率ρv测量
将电压源Vs施加到上电极，指定流经测试样品的大电流为Im，随后体积电阻Rv用公式Rv=Vs/Im计算。
从测试样品流向保护电极的大电流和从上电极流向保护电极的表面电流都属于泄露电流；然而这些电流都会进入Vs的低侧，不会对用于计算Rv的电流表电流(Im)的大小造成影响。
体积电阻率ρv可用公式ρv=EAR/STHxRv计算出，其中:
EAR = Effective area 有效面积
STH = Sample thickness 样品厚度。
a) 表面电阻Rs、表面电阻率ρs测量
将电压源Vs施加到护环电极，在测试样品表面上的电流从保护电极流向主电极，表面电流被指定为Im。表面电阻Rs可用公式Rs=Vs/Im计算。
从护环流向上电极的电流是泄露电流；然而这个电流会流入Vs的低侧，不会对用于计算Rv的电流表电流(Im)的大小造成影响。
表面电阻可用公式ρs=EPER/GLENxRs计算出，其中:
EPER = Effective perimeter 有效周长
GLEN = Gap length 间隔长度
技术参数
产品型号
TH2690
TH2690A
TH2690H
TH2691
TH2691A
TH2691H
显示
显示器
5.0寸电容式触摸彩色LCD显示器
测量分辨率
6½位
电流测量
量程
精度
分辨率
精度
分辨率
精度
分辨率
精度
分辨率
精度
分辨率
精度
分辨率
2pA
------
------
------
------
±(1%+5fA)
0.01fA
------
------
------
------
±(1%+5fA)
0.01fA
20pA
±(1%+5fA)
0.1fA
------
------
±(1%+5fA)
0.1fA
±(1%+5fA)
0.1fA
------
------
±(1%+5fA)
0.1fA
200pA
±(0.5%+5fA)
0.1fA
------
------
±(0.5%+5fA)
0.1fA
±(0.5%+5fA)
0.1fA
------
------
±(0.5%+5fA)
0.1fA
2nA
±(0.2%+50fA)
1fA
±(0.2%+50fA)
1fA
±(0.2%+50fA)
1fA
±(0.2%+50fA)
1fA
±(0.2%+50fA)
1fA
±(0.2%+50fA)
1fA
20nA
±(0.2%+3pA)
10fA
±(0.2%+3pA)
10fA
±(0.2%+3pA)
10fA
±(0.2%+3pA)
10fA
±(0.2%+3pA)
10fA
±(0.2%+3pA)
10fA
200nA
±(0.2%+5pA)
100fA
±(0.2%+5pA)
100fA
±(0.2%+5pA)
100fA
±(0.2%+5pA)
100fA
±(0.2%+5pA)
100fA
±(0.2%+5pA)
100fA
2μA
±(0.1%+50pA)
1pA
±(0.1%+50pA)
1pA
±(0.1%+50pA)
1pA
±(0.1%+50pA)
1pA
±(0.1%+50pA)
1pA
±(0.1%+50pA)
1pA
20μA
±(0.05%+500pA)
10pA
±(0.05%+500pA)
10pA
±(0.05%+500pA)
10pA
±(0.05%+500pA)
10pA
±(0.05%+500pA)
10pA
±(0.05%+500pA)
10pA
200μA
±(0.05%+5nA)
100pA
±(0.05%+5nA)
100pA
±(0.05%+5nA)
100pA
±(0.05%+5nA)
100pA
±(0.05%+5nA)
100pA
±(0.05%+5nA)
100pA
2mA
±(0.05%+50nA)
1nA
±(0.05%+50nA)
1nA
±(0.05%+50nA)
1nA
±(0.05%+50nA)
1nA
±(0.05%+50nA)
1nA
±(0.05%+50nA)
1nA
20mA
±(0.05%+500nA)
10nA
±(0.05%+500nA)
10nA
±(0.05%+500nA)
10nA
±(0.05%+500nA)
10nA
±(0.05%+500nA)
10nA
±(0.05%+500nA)
10nA
电阻测量
量程
精度
分辨率
精度
分辨率
精度
分辨率
------
1MΩ
±(0.135%+1Ω)
1Ω
±(0.135%+1Ω)
1Ω
±(0.135%+1Ω)
1Ω
------
10MΩ
±(0.135%+10Ω)
10Ω
±(0.135%+10Ω)
10Ω
±(0.135%+10Ω)
10Ω
------
100MΩ
±(0.185%+100Ω)
100Ω
±(0.185%+100Ω)
100Ω
±(0.185%+100Ω)
100Ω
------
1GΩ
±(0.285%+1kΩ)
1kΩ
±(0.285%+1kΩ)
1kΩ
±(0.285%+1kΩ)
1kΩ
------
10GΩ
±(0.41%+10kΩ)
10kΩ
±(0.41%+10kΩ)
10kΩ
±(0.41%+10kΩ)
10kΩ
------
100GΩ
±(0.41%+100kΩ)
100kΩ
±(0.41%+100kΩ)
100kΩ
±(0.41%+100kΩ)
100kΩ
------
1TΩ
±(0.45%+1MΩ)
1MΩ
±(0.45%+1MΩ)
1MΩ
±(0.45%+1MΩ)
1MΩ
------
10TΩ
±(0.75%+10MΩ)
10MΩ
------
------
±(0.75%+10MΩ)
10MΩ
------
100TΩ
±(2.6%+100MΩ)
100MΩ
------
------
±(0.75%+100MΩ)
100MΩ
------
1PΩ
------
------
------
------
(2.6%+1GΩ)
1GΩ
------
量程
电流量程
电压源
电流量程
电压源
电流量程
电压源
------
1MΩ
200μA
20V
200μA
20V
200μA
20V
------
10MΩ
20μA
20V
20μA
20V
20μA
20V
------
100MΩ
2μA
20V
2μA
20V
2μA
20V
------
1GΩ
200nA
20V
200nA
20V
200nA
20V
------
10GΩ
20nA
20V
20nA
20V
20nA
20V
------
100GΩ
2nA
20V
2nA
20V
2nA
20V
------
1TΩ
2nA
200V
2nA
200V
2nA
200V
------
10TΩ
200pA
200V
------
------
200pA
200V
------
100TΩ
20pA
200V
------
------
20pA
200V
------
最大测量电阻
100PΩ
1000TΩ
1000PΩ
------
电压测量（独立输入单元)
量程
精度
分辨率
------
2V
±(0.05%+40μV)
1μV
------
20V
±(0.05%+400μV)
10μV
------
输入阻抗
>200TΩ
------
电荷测量（指标在1s内有效）
量程
精度
分辨率
------
精度
分辨率
------
2nC
±(0.5%+50fC)
1fC
------
±(0.5%+50fC)
1fC
------
20nC
±(0.5%+500fC)
10fC
------
±(0.5%+500fC)
10fC
------
200nC
±(0.5%+5pC)
100fC
------
±(0.5%+5pC)
100fC
------
2μC
±(0.5%+50pC)
1pC
------
±(0.5%+50pC)
1pC
------
电压源
量程
精度
分辨率
------
20V
±(0.05%+2mV)
700μV
------
1000V
±(0.05%+100mV)
35mV
------
量程
最大输出电流
------
20V
±20mA
------
1000V
±1mA
------
电压源功能
直流、扫描(单扫描、双扫描、列表扫描)、ARB(方波)
------
温度测量范围及精度
-40℃-10℃
1℃
------
10℃-55℃
0.5℃
------
55℃-80℃
1℃
------
湿度测量范围及精度
0-20%RH
4％
------
20-80％RH
3％
------
80-100%RH
4％
------
视图模式
仪表视图、图形视图、直方图、滚动视图
测试端子
电压输入
三轴BNC
------
电流输入
三轴BNC
电压输出
√
------
COMMON
√
GROUND
香蕉座
接口
D/A输出
±2VFS
HANDLER
√
通讯接口
RS232、USB DEVICE、USB HOST、LAN、GPIB
传感器输入
温湿度
------
互锁输入
√
------
环境温度与湿度
使用温湿度范围
0°C--45°C，30%--80%，无冷凝
存放温湿度范围
-20°C--60°C，10%--90%，无冷凝
精度保证温湿度
23℃±5℃，30%-80%RH
预热时间
1小时
环境温度变化
自校准后小于±3℃
校准周期
1年
一般指标
电源
AC：90V-264V,50/60Hz；或DC：127V-370V
功率
60W
上架尺寸
215(W)×88(H)×412(D)
外形尺寸
235(W)×111(H)×440(D)
重量
3.5kg