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同惠新品:TH199X系列精密源测量单元,为科技创新注入无限“源动力”


在半导体器件、超导材料和光电器件等测试领域中,为了更全面地检测器件特性,提升整个测试系统的效率,往往对供给电源和测量同步性方面有更严格的要求,不仅要高效率高精度,而且要更便捷。 


TH199X系列精密源/测量单元(SMU)将高功率、高精度、高速源测量功能集成到单个仪器上,可以在四个象限内执行出色的电流/电压输出与测量,并具备直流、扫描、脉冲等多样化功能,使您能够执行各种不同的功能以及通过同一针脚进行各种不同的设备测试,这不仅简化了连接,而且减少了使用仪器的种类和数量,降低了测试系统的占地空间和总体成本。 

 

Q:TH199X突破了哪些设计难点?

 

A1:四象限输出,控制环路设计


要实现全象限的Force Voltage / Measure & Clamp Current以及Force Current / Measure & Clamp Voltage的功能,如果要使用离散器件搭建整个控制环路,无疑是非常复杂的。



作为主控的TH1991/TH1992系列不仅集成了Force Voltage和Force Current的环路控制以及钳位功能,同时内部也集成多个range的shunt电阻可以实现多档位的电流测量,可输出高达±210V直流电压、±3A直流电流以及±10.5A脉冲电流、最小10fA/100nV的电源和测量分辨率,支持高速采样,可生成任意波形。 

 

A2:多种工作模式及测量

TH1991/TH1992系列精密源/测量电源打破传统台式SMU的局限性,具有更快速、更灵活、更小巧的特性。这种结合使得这些仪器不仅能够实现传统SMU之外的功能,而且变成一款多功能的仪器,可同时输出并测量电压和电流,在仪器中集成了电流源、电压源、电压表、电流表、电阻表功能,各功能可任意切换。

 

A3:半导体元件静态特性测试

 

TH1991/TH1992系列精密源/测量单元系列采用了7英寸电容式触摸屏,以Linux操作系统为底层,交互式图形用户界面及各种显示模式,并内置了二极管、三极管、MOS管以及IGBT等器件的I/V曲线扫描功能,无需连接上位机即可完成IV功能测试,可显著提高测试效率。

 

A4:TH199X系列-二极管CV曲线分析


 以往半导体CV曲线通常只测试正向电压和电容的曲线,因而目前市场上测试CV曲线方案的电压源部分只能输出正向电压,但特殊需求的客户,需要测试电容的正反向CV特性曲线,目前市场上无具体解决方案。


同惠TH2838H精密LCR数字电桥结合TH1991系列精密源/测量单元完美的解决了这个问题,可提供20Hz-2MHz测试频率范围,±200V正反向电压下的测试需求。具体方案如下: